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セミナー担当：shimizu.r.af -at- m.titech.ac.jp (-at-を@に変更ください)
【企業展示のご案内】
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| 17日 午前の部 10:00〜11:30 (座長：長谷川 修司 (東大) ) |
| 最新・最先端の表面分析装置のご紹介 |
| 出展社名 |
株式会社東京インスツルメンツ |
| 開催日 | 2020/11/17 |
時間 | 10:10〜10:25 |
| 展示ブース | A9 |
REMO商談室 | --- |
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弊社取扱いの顕微ラマン装置、SFG、ARPES用アナライザーなど表面分析に最適なユニークな製品をご紹介いたします。 |
| もう検出器で迷わない！？〜新方式エネルギーフィルターSEMによる表面分析〜 |
| 出展社名 |
日本電子株式会社 |
| 開催日 | 2020/11/17 |
時間 | 10:25〜10:40 |
| 展示ブース | A5 |
REMO商談室 | --- |
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半導体、電池材料など様々な分野への活用が期待できる、電子分光器を活用した電子スペクトルを含む新しいSEM像取得が可能となったので応用例を紹介する。 |
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| その粉末，同定できます−電子トラップ密度解析のご紹介 |
| 出展社名 |
電子トラップ研究コンソーシアム（北海道大学触媒科学研究所） |
| 開催日 | 2020/11/17 |
時間 | 10:45〜11:00 |
| 展示ブース | C8 |
REMO商談室 | 8F: 右上卓 |
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材料をあつかっておられる方ならだれでも経験するのが，「おなじコードの製品なのに，あるいは，おなじレシピで製造したのに特性が異なる」こと．
それは，材料の表面構造を巨視的に評価することができなかったためです．新規に開発した逆二重励起光音響分光法をつかうと，
金属酸化物粉末などの半導体材料の電子トラップ密度のエネルギー分布を測定でき，これを「指紋」として材料を同定することが可能です．
この技術についてご紹介します． |
| SP-LEEM、VLT-STM、SHIMを用いた表面解析・分析 |
| 出展社名 |
物質材料研究機構 先端材料解析研究拠点 |
| 開催日 | 2020/11/17 |
時間 | 11:00〜11:15 |
| 展示ブース | C7 |
REMO商談室 | 7F: 右上卓 |
| 先端材料解析研究拠点が提供する、走査型ヘリウムイオン顕微鏡、極低温・高磁場走査型トンネル顕微鏡、
低温走査型トンネル顕微鏡、スピン偏極低エネルギー電子顕微鏡
を用いた表面の高度な解析・分析について紹介します。 問合せ先: amc -at- nims.go.jp (-at-を@に変更ください) |
| 産総研先端ナノ計測施設（ANCF）の紹介 |
| 出展社名 |
産業技術総合研究所 |
| 開催日 | 2020/11/17 |
時間 | 11:15〜11:30 |
| 展示ブース | C6 |
REMO商談室 | --- |
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産総研が開発した最先端の７つの計測分析機器や技術で、産学官の研究者・技術者の多様な計測ニーズに対応します。 |
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| 17日 午後前半の部 13:00〜14:30 (座長：鈴木 基史 (京大) ) |
| 特別講演：創エネ・省エネ・蓄エネデバイスの放射光解析〜高分解能化からオペランド解析へ〜 |
| 招待講演者 |
尾嶋 正治 先生 (東京大学物性研究所、東京都市大学総合研究所) |
| 開催日 |
2020/11/17 |
時間 |
13:00〜14:00 |
| 分野 |
放射光解析 |
言語 |
日本語 |
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１．はじめに：
超スマート社会Society 5.0を目指した研究開発が進められている。
すなわち、イノベーションで創出される新たな価値により、経済発展と社会的課題の解決を実現する、という目標である。
そのためには、エネルギー・環境問題の解決やロボティクス・AIなどを用いた高性能・多機能システムの開発などが必須である。
エネルギー問題については、創エネ・省エネ・蓄エネを実現するデバイスの開発が急務であり、その開発を加速するためには放射光を含む
量子ビームを利用した高度分析・解析技術が不可欠となっている。
２．高分解能化からオペランド解析へ：
放射光を用いた解析においては、これまでエネルギー分解能、角度分解能、空間分解能、時間分解能などの
高分解能化が強く求められてきた。ここではいくつかの省エネデバイスの高分解能解析の例を紹介する。
しかし、創エネ・省エネ・蓄エネデバイスのマクロ的性能とミクロ的な分析データの相関を探るためには、高分解能測定だけではなく、
デバイス動作中、化学反応中の構造・電子状態の解析、すなわちオペランド解析が必要になってくる。
３．省エネデバイスと放射光オペランド解析：
ここでは放射光ナノビームを用いた光電子分光による有機FETやGaN-HEMTの動作中解析を例に挙げて、
オペランド解析で何が分かるかについて考える。
４．創エネデバイスと放射光オペランド解析：
ここでは燃料電池動作中の軟X線発光分光測定で非白金系炭素正極触媒の
反応活性メカニズムを解析した結果などについて紹介する。
５．蓄エネデバイスと放射光オペランド解析：
充放電中のリチウムイオン電池（LIB）正極反応を軟X線発光分光測定で解析した結果、
およびナノ光電子分光による充放電中全固体LIB 負極反応の結果などを紹介する。
６，次世代３GeV放射光計画：
2023年完成予定の東北放射光における現状について述べる。
７．まとめ：
放射光実験で得られた結果は、今や理論計算の裏付けなくしては解析できない、と言っても過言ではない。
さらにAIやMI (Materials Informatics)によってより本質的なメッセージ（材料合成の提案など）が抽出されつつある。
一方、ロボティクスとの組み合わせによって、測定の自動化だけでなく、材料作りの自動化も進められている。
参考文献：K. Yoshimatsu, MO et al., Science 333, 319 (2011). K. Horiba, MO et al. Appl. Phys. Lett. 103, 193114 (2013). N. Nagamura, MO et al., Carbon 152, 680 (2019). M. Oshima et al., e-Journal of Surf. Sci. and Nanotech. 16, 257 (2018). N. Nagamura, MO et al., Appl. Phys. Lett. 106, 251604 (2015). K. Omika, MO et al. Sci. Rep. 8, 13268 (2018). H. Niwa, MO et al., Electrochem. Commun. 35, 57-60 (2013). D. Asakura, MO et al., Electrochem. Commun. 50, 93-96 (2015). K. Akada, E. Hosono, MO et al., Sci. Rep. 9, 12452 (2019).
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| EBARAドライ真空ポンプの紹介 |
| 出展社名 |
株式会社荏原製作所 |
| 開催日 | 2020/11/17 |
時間 | 14:00〜14:15 |
| 展示ブース | C2 |
REMO商談室 | 2F: 右上卓 |
| 半導体製造プロセス〜研究開発用途向けまで幅広いラインナップの各種真空ポンプを紹介致します。 |
| 最新のパルスモーターコントローラを含む製品の紹介 |
| 出展社名 |
ツジ電子株式会社 |
| 開催日 | 2020/11/17 |
時間 | 14:15〜14:30 |
| 展示ブース | C3 |
REMO商談室 | 3F: 右上卓 |
| 最新のパルスモーターコントローラの特徴・機能などを中心に、ツジ電子製品の紹介をする。 |
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| 17日 午後後半の部 14:45〜16:00 (座長：桑原 裕司 (阪大) ) |
| 低ガス放出・低温化で小型成膜装置に貢献する新しい真空構造材 0.2%BeCuのご紹介 |
| 出展社名 |
東京電子株式会社 |
| 開催日 | 2020/11/17 |
時間 | 14:45〜15:00 |
| 展示ブース | B9 |
REMO商談室 | 3F: 右下卓 |
| ＳＵＳ代わる０．２％ＢｅＣｕ合金は、高熱伝導率と低熱輻射率による超低ガス放出化・低温化をもたらします。
当社は本材料を自社の極高真空コンポーネント・超高感度ガス分析装置に使用されておりましたが、これをミニマルファブなどの
小型真空チャンバに適用することで、チャンバ内壁からの放出ガス、特に真空中の水素分圧の問題、あるいは熱源による高温化の問題等を解決し、
製品の品質向上、装置の冷却設備の小型化をもたらします。 |
| 会社案内及び、NEGベローズ |
| 出展社名 |
入江工研株式会社 |
| 開催日 | 2020/11/17 |
時間 | 15:00〜15:15 |
| 展示ブース | B4 |
REMO商談室 | 4F: 左下卓 |
| 排気性能を持つNEGベローズにつきましてご説明致します。 |
| ミラプロ真空計紹介 |
| 出展社名 |
株式会社ミラプロ |
| 開催日 | 2020/11/17 |
時間 | 15:15〜15:30 |
| 展示ブース | C1 |
REMO商談室 | 1F: 右上卓 |
| ミラプロは真空計の製造・販売を始めました。汚染に強いタフゲージをご紹介いたします。 |
| トヤマの成膜装置 |
| 出展社名 |
株式会社トヤマ |
| 開催日 | 2020/11/17 |
時間 | 15:30〜15:45 |
| 展示ブース | C4 |
REMO商談室 | 4F: 右上卓 |
| 新対向ターゲットスパッタリング装置、VSS硫黄ソース（MBE装置）、EFMシリーズ（EB蒸着）をご紹介します。 |
| 真空ベーキング装置のご紹介 |
| 出展社名 |
佐藤真空株式会社 |
| 開催日 | 2020/11/17 |
時間 | 15:45〜16:00 |
| 展示ブース | B6 |
REMO商談室 | 6F: 左下卓 |
| 豊富な納入実績の中から、様々なタイプの真空ベーキング装置を事例と共にご紹介致します。 |
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