会誌「表面科学」
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　技術賞　SSSJ Technical Award

2017年度技術賞

炭素イオンクラスター注入シリコンウェーハの重金属ゲッタリング効果。

表面科学 37 (2016) 104.
受賞論文


■　2017年度

(第23回 技術賞)
クラスターイオン注入によるCMOSセンサのゲッタリング技術

栗田一成, 門野 武, 奥山亮輔, 廣瀬 諒, 柾田亜由美, 奥田秀彦, 古賀祥泰

表面科学 Vol. 37 (2016) pp. 104-109.


■　2016年度

(第22回 技術賞)
ナノスーツ法による生きたままの生物のSEM 内生態観察

針山孝彦，高久康春，鈴木浩司，石井大佑，下村政嗣

表面科学 Vol. 36 (2015) pp. 201-206.


■　2015年度

(第21回 技術賞)
SEM Images Obtained with an Energy and Takeoff Angle Selective Detector

Takeshi Otsuka, Motohiro Nakamura, Ken-ichi Yamashita, Kazuhiro Honda, Shin-ichi Kitamura, Felix Timischl, Masato Kudo

e-J. Surf. Sci. Nanotech. Vol. 12 (2014) pp. 279-282.


■　2014年度

(第20回 技術賞)
原子分解能収差補正STEMと低加速への発展

沢田英敬，佐々木健夫，奥西栄治，末永和知

表面科学 Vol. 34 (2013) pp. 240-246.


■　2013年度

(第19回 技術賞)
フェムト秒レーザー励起光電子顕微鏡法による表面プラズモン波の可視化

久保 敦，Hrvoje PETEK

表面科学 Vol. 33 (2012) pp. 235-241.


■　2012年度

(第18回 技術賞)
大気圧アルゴン・プラズマジェットを用いた大腸菌の殺菌

桑畑周司，熊澤栄作，大山龍一郎，伊藤 敦

表面科学 Vol. 31 (2010) pp. 667-672.


■　2011年度

(第17回 技術賞)
高効率スピン分解光電子分光装置の開発と表面研究への応用

奥田太一

表面科学 Vol. 30 (2009) pp. 312-318.


■　2010年度

(第16回 技術賞)
種々の走査型電子顕微鏡を用いたイオン液体中での電極表面その場観察技術

有本 聡，蔭山仁志，佐藤雄一，幕田悟史，津田哲哉，桑畑 進，鳥本 司

表面科学 Vol. 30 (2009) pp. 368-373.


■　2009年度

(第15回 技術賞)
高スピン偏極度/高輝度・電子ビーム源

中西 彊

表面科学 Vol. 29 (2008) pp. 672-681.


■　2008年度

(第14回 技術賞)
走査型容量顕微鏡によるMOSFET動作時の不純物分布計測

臼田宏治，木村健次郎，小林 圭，山田啓文

表面科学 Vol. 28 (2007) pp. 84-90.


■　2007年度

(第13回 技術賞)
電子線励起超軟X線分光分析装置の開発

木村 隆, 福島 整, 田沼繁夫, 田澤豊彦, 塚本一徳

表面科学 Vol. 27 (2006) pp. 540-545.


(第13回 技術賞)
生体分子を用いた新しいナノ構造作製方法
—バイオナノプロセス—

熊谷慎也，山下一郎

表面科学 Vol. 27 (2006) pp. 157-163.


■　2006年度

(第12回 技術賞)
該当なし


■　2005年度

(第11回 技術賞)
該当なし


■　2004年度

(第10回 技術賞)
反射高速陽電子回折による表面研究

河裾厚男，一宮彪彦

表面科学 Vol. 24 (2003) pp. 174-180.


■　2003年度

(第9回 技術賞)
可視プローブ波長可変性を持つマルチプレックス赤外可視和周波発生分光装置の開発

石橋孝章, 大西 洋

表面科学 Vol. 23 (2002) pp. 468-474.


■　2002年度

(第8回 技術賞)
高分解能RBS装置の開発

木村健二，中嶋 薫

表面科学 Vol. 22 (2001) pp. 431-437.


■　2001年度

(第7回 技術賞)
該当なし


■　2000年度

(第6回 技術賞)
近接場光学顕微鏡/走査型トンネル顕微鏡複合装置の開発

中嶋 健，Ruggero MICHELETTO，三井圭太，礒島隆史，原 正彦，和田達夫，雀部博之，Wolfgang KNOLL

表面科学 Vol. 20 (1999) pp. 509-515.


(第6回 技術賞)
サブミクロンSIMS法におけるshave-off深さ方向分解能の向上

冨安文武乃進，逆瀬川聡，鳥羽貴光，尾張真則，二瓶好正

表面科学 Vol. 20 (1999) pp. 523-529.


■　1999年度

(第5回 技術賞)
ニューラルネットワークの化学分析への適用

渡部 徹，岸田 悟，石原顕永，河相宰昭，徳高平蔵，福島 整

表面科学 Vol. 19 (1998) pp. 398-406.


■　1998年度

(第4回 技術賞)
FIBによるGaAs-STM探針の作製

森林 茂，末岡和久，棚橋研二，武笠幸一

表面科学 Vol. 18 (1997) pp. 485-489.


■　1997年度

(第3回 技術賞)
標準CMA分光器で得た絶対オージェスペクトル

後藤敬典，竹市嘉紀

表面科学 Vol. 17 (1996) pp. 417-422.


■　1996年度

(第2回 技術賞)
半導体超微粒子による光利用部分めっき

森下真也

表面科学 Vol. 16 (1995) pp. 201-205.


■　1996年度

(第1回 技術賞)
磁石内蔵型マイクロ・スパッタリング装置 (2)
—試作とその応用例—

渡部一史，杉田利男，西川英一

表面科学 Vol. 15 (1994) pp. 316-322.


受賞論文