会誌「表面科学」

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 第22巻 第3号  2001年3月

Editor's Choice

ELID研削法を軸対称(非)球面ワークの加工に適用した例.(上)非球面レンズ,(中)SUS製非球面レンズ金型,(下)プラスチック非球面レンズ.

表面科学 第22巻 第3号 (2001) p. 167
Contents


■ 巻頭言

表面科学と超精密加工

森 勇藏
Vol. 22, No. 3 (2001) p. 151


■ 特集:超精密・超微細加工

(解説)
数値制御EEM (Elastic Emission Machining) 加工システムの開発

山内和人,三村秀和,森 勇藏
Vol. 22, No. 3 (2001) p. 152



(解説)
プラズマCVM (Chemical Vaporization Machining) による超精密加工

山村和也,佐野泰久,森 勇藏
Vol. 22, No. 3 (2001) p. 160



(解説)
超精密・超微細加工を実現するELID研削法

大森 整,山形 豊,守安 精,林 偉民,森田晋也
Vol. 22, No. 3 (2001) p. 167



(研究紹介)
磁気研磨法とその応用

進村武男
Vol. 22, No. 3 (2001) p. 173



(解説)
スーパースムーズ鏡面研磨とP-MACポリシング

河西敏雄
Vol. 22, No. 3 (2001) p. 179



(解説)
高能率・超平滑化加工法
—軟質粒子によるメカノケミカルポリシング—


安永暢男
Vol. 22, No. 3 (2001) p. 187


■ 研究紹介

Ge/Siセグリゲーションの中速イオン散乱による観察

住友弘二,小林慶裕,白石賢二,伊藤智徳,荻野俊郎
Vol. 22, No. 3 (2001) p. 197



その場STM観察によるGaAs(001)表面のGa原子吸着ダイナミクス

塚本史郎,小口信行
Vol. 22, No. 3 (2001) p. 203


■ 談話室

第3回非接触原子間力顕微鏡法国際会議 (NC-AFM 2000)

大西 洋
Vol. 22, No. 3 (2001) p. 210


■ 先端追跡

[R-244] 原子線によるナノリソグラフィー技術
唐橋一浩
Vol. 22, No. 3 (2001) p. 211

[R-245] 窒化物半導体エピタキシャル成長の転位密度低減
嘉数 誠
Vol. 22, No. 3 (2001) p. 211


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