会誌「表面科学」

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 第21巻 第12号  2000年12月

Editor's Choice

SiCをはじめとする各種半導体材料を用いたパワー素子,高周波素子に期待される仕事領域.

表面科学 第21巻 第12号 (2000) p. 764
Contents


■ 巻頭言

普遍と個性

荒井和雄
Vol. 21, No. 12 (2001) p. 763


■ 特集:SiC素子実用化のための表面研究

(解説)
SiC素子実用化に向けた研究の現状と将来展望

吉田貞史
Vol. 21, No. 12 (2000) p. 764



(研究紹介)
縦型ホットウォールCVDによるSiCエピタキシャル成長

高橋邦方,北畠 真
Vol. 21, No. 12 (2000) p. 771



(研究紹介)
SiC半導体へのイオン注入による不純物ドーピング

伊藤久義,大島 武
Vol. 21, No. 12 (2000) p. 778



(研究紹介)
SiC基板表面の平坦化技術

土田秀一,直本 保,鎌田功穂,泉 邦和
Vol. 21, No. 12 (2000) p. 784



(研究紹介)
金属/6H-SiC界面で見いだされたショットキーリミットと電荷中性点

原 史朗
Vol. 21, No. 12 (2000) p. 791


■ 論文

ニトロスチルベンLB膜の形成と構造

鍛治裕之,下山雄平
Vol. 21, No. 12 (2000) p. 800



二, 三の合成高分子化合物のTOF-SIMSフラグメントパターンの推定

戸津美矢子,高橋元幾,星 孝弘,広川吉之助
Vol. 21, No. 12 (2000) p. 806


■ 先端追跡

[R-238] 放射光を利用した全反射蛍光X線分光法によるシリコンウェハー表面の微量金属不純物の測定
池田正則
Vol. 21, No. 12 (2000) p. 816

[R-239] ブロードバンド赤外光を用いたマルチプレックス和周波発生分光法
大西 洋
Vol. 21, No. 12 (2000) p. 816


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