会誌「表面科学」

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 第16巻 第6号  1995年6月


■ 巻頭言

表面反応研究のより一層の促進を (image PDF 64K)
堀池靖浩
Vol. 16, No. 6 (1995) p. 345


■ 小特集:原子層エッチング

(解説)
低エネルギーイオン照射によるSiの原子層エッチング

松浦 孝,室田淳一
Vol. 16, No. 6 (1995) p. 346



(解説)
電子ビーム励起表面反応を用いたナノメーターエッチング

松井真二,馬場雅和,渡部平司,藤田淳一
Vol. 16, No. 6 (1995) p. 353



(解説)
X線による微細加工と原子層エッチングの可能性

寺門伸悟
Vol. 16, No. 6 (1995) p. 360



(解説)
多価イオンによる原子層エッチング

持地広造
Vol. 16, No. 6 (1995) p. 367



(ポピュラーサイエンス)
原子層エッチングと表面反応

高桑雄二
Vol. 16, No. 6 (1995) p. 373


■ 解説

Pd(110)(1×2)-Cs表面と炭化水素との相互作用

西嶋光昭
Vol. 16, No. 6 (1995) p. 378



周波数応答法による気体/表面系のダイナミックス

安田祐介
Vol. 16, No. 6 (1995) p. 385



高精度RBS共鳴散乱法による薄膜の酸素分析

綿森道夫,尾浦憲治郎
Vol. 16, No. 6 (1995) p. 391


■ ノート

Kelvin Probe for Work Function Measurements of Many Specimens in the Same High Vacuum

Kazuo SASAKI, Atsusi HIRATA and Munemi MICHIGAMI
Vol. 16, No. 6 (1995) p. 397


■ 談話室

「学生実験」の効用と限界 (image PDF 117K)
内島俊雄
Vol. 16, No. 6 (1995) p. 400



第9回イオンビームによる材料改質国際会議 (image PDF 85K)
岩木正哉
Vol. 16, No. 6 (1995) p. 402


■ 先端追跡

[R-85] SIMSにおける定量分析の展望
田村一二三
Vol. 16, No. 6 (1995) p. 403

[R-86] 昇温脱離法による白金電極の表面酸化層の研究
吉武英昭
Vol. 16, No. 6 (1995) p. 403


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