公益社団法人 日本表面真空学会



スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)第164回定例研究会「スパッタ等の真空プロセスでつくる発光・受光デバイス」

主催

日本表面真空学会

開催日

2020年3月16日(月)13:00~16:45(受付12:40~)

締切日

2020年03月12日

会場

機械振興会館 地下3階 B3-6号室 交通アクセス
(東京都港区芝公園3-5-8)

プログラム

LEDやフォトダイオード、太陽電池などソリッドステートの発光・受光デバイスは、既に私たちの暮らしになくてはならないものになっています。当初これらのデバイスの発光層やパッシベーション層の作製にはCVDが用いられてきましたが、大面積化やコストの要求から、スパッタプロセス・プラズマプロセスの適用例も多く見られるようになってきました。今回の研究会では、スパッタやALDプロセスに様々な工夫をこらし、これらの物性改善に繋げた例を紹介いただきます。また会の冒頭では、2019年度SP部会賞の授賞式ならびに記念講演も実施します。多くの皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。

プログラム
13:00~13:05 開会の挨拶        日本表面真空学会SP部会 部会長(京都大学)後藤康仁

2019年度SP部会賞授賞式
13:05~13:10 審査経緯の報告   日本表面真空学会SP部会 副部会長(成蹊大学)中野武雄

13:10~13:40 SP部会賞受賞記念講演
                      「アーク抑制および成膜レート向上を目的とした大電力パルススパッタ電源の
                         技術開発」         (1東京電子(株)、2岡山理科大学)〇黒岩雅英1、中谷達行2

講  演: ※講演時間40分(質疑応答5分間含む)
13:40~14:20 「RFスパッタ堆積した酸化物半導体材料と透明インテリジェントデバイスの開発」
                                                                                            (東京理科大学)杉山 睦

14:20~15:00 「スパッタと高温アニールによる高結晶性AlN膜の作製」  (三重大学)三宅秀人

15:00~15:20 休 憩

15:20~16:00 「原子層堆積法で作製した酸化チタンの高性能パッシベーション効果の発現機構」
                                                                                                (名古屋大学)後藤和泰

16:00~16:40 「(未定)」                     (大阪大学)節原裕一

16:40~16:45 閉会の挨拶     日本表面真空学会SP部会 副部会長(成蹊大学)中野武雄

費用

SP部会員                                                                       無 料
日本表面真空学会個人正会員                                            23,000円
日本表面真空学会法人正会員、維持会員、賛助会員に属する方  18,000円
教育機関、公的機関に属する方                                         12,000円
学生                                                                              5,000円
一般                                                                            28,000円

申込方法

こちらの申し込みページからお申込みください。
※お申込み完了後、受付完了メールが自動返信されます。
受付完了メールが届かない場合は、事務局までご連絡ください。

支払方法

当日受付にてお支払いください。
※なるべくお釣りのないようご準備ください。

備考

問合せ先: 公益社団法人日本表面真空学会 事務局
      TEL: 03-3812-0266  FAX: 03-3812-2897  E-mail: office@jvss.jp

本件担当: 日本表面真空学会SP部会(東海大学)金子哲也、(成蹊大学)中野武雄



日本表面真空学会 事務局
〒113-0033 東京都文京区本郷5-25-16 石川ビル5階 TEL:03-3812-0266 FAX:03-3812-2897 Email:

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