日本表面真空学会

2019年9月5日（木）15:00～17:00（受付14:30～）

パシフィコ横浜 展示ホール2階 会議室E204　交通アクセス
（神奈川県横浜市西区みなとみらい1-1-1）

講　　師： 上坂 裕之
              （岐阜大学 工学部 機械工学科 教授・地域連携スマート金型技術研究センター 兼務）

講義内容： １．プラズマの基礎
                ２．ダイヤモンドライクカーボン材料の基礎
                ３．ダイヤモンドライクカーボン薄膜の成膜方法（CVDおよびPVD）
　　　　　  4．カーボン薄膜の応用（トライボロジーなど）
                 5．先進成膜事例

参加のおすすめ
　プラズマを使用した成膜技術は、真空工学の最も重要な産業応用です。プラズマを使用するとダイヤモンドライクカーボン膜を成膜することが可能で、機械材料・要素の接触表面に低摩擦、耐摩耗、低付着などの優れた機械的応答特性を付与できます。今回、プラズマを使用したCVD法やPVD法によるダイヤモンドライクカーボン成膜の基礎を紹介します。また、ダイヤモンドライクカーボンを有する表界面がトライボロジー特性をはじめ優れた機械的応答特性を示すことを紹介します。

54名

一般 （ 会員・非会員 ）5,000円、学生 1,000円 （テキスト代・消費税込）
※テキストは講義で使用するPPTファイルを1ページ4スライドでモノクロ印刷したものです。

申込みは終了しました。

当日、会場（会議室E204）前の受付にてお支払いください。領収書を発行します。
※なるべくお釣りのないようご準備ください。

問合せ先：　公益社団法人日本表面真空学会
                  TEL 03-3812-0266　　FAX 03-3812-2897
                  E-mail: office@jvss.jp

「VACUUM2019 真空展」ホームページ： https://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/