VACUUM2019 真空展「薄膜の基本技術講座」スパッタ薄膜の組成制御、構造制御

主催

日本表面真空学会

開催日

2019年9月4日（水）12:30～14:30（受付12:00～）

締切日

2019年09月04日

会場

パシフィコ横浜展示ホール2階会議室E204　交通アクセス
（神奈川県横浜市西区みなとみらい1-1-1）

プログラム

講　　師：中野武雄（成蹊大学物質生命理工学科教授・日本表面真空学会教育委員会）

講義内容：１．スパッタ法の原理
                ２．スパッタ粒子の輸送過程～ガスとの衝突・散乱・熱化
                ３．スパッタ成膜のプロセス圧力と膜組成・膜構造
                ４．成膜装置の到達圧力と膜の不純物
                ５．大電力パルススパッタによる薄膜構造制御

参加のおすすめ
　本講座では、薄膜作製法のうち、真空とプラズマを用いた手法としてスパッタ法を取り上げ、基礎的・発展的な解説を行います。スパッタ法の原理について簡単に紹介した後、スパッタ粒子の輸送過程が環境圧力から受ける影響について説明し、スパッタにおけるプロセス圧力などの成膜パラメータが、成膜過程および得られる薄膜の構造・組成にどのように影響するかについて解説します。また、真空装置の到達圧力が薄膜の不純物混入に与える影響やプラズマを制御した最新の成膜手法についても、講師が実際に行ってきた研究を含めていくつか紹介します。