日本表面真空学会関東支部
関東支部セミナー


実用顕微評価技術セミナー2024

開催概要

本セミナーは、ナノ材料・デバイスの評価技術として重要な新しい顕微評価技術の展開と促進を図り、 これを通じて産業界に貢献することを目的として、2013年より開催されてきました。
機器メーカーと分析会社のご協力により、口頭発表やポスター展示を併設して、 各種材料・デバイスの顕微評価・解析の向上に役立つ最新技術やノウハウを紹介してきました。
COVID-19
の流行以降はオンライン開催も進め、毎回100名を超える参加者を集めています。 本年は、企業の方や研究者が面着することにより、活発な議論や意見交換が期待されるため、コロナ禍前に行われていた対面形式に戻しました。

 

参加登録:締め切りました。ご登録有り難うございました。

   7/22 13:30頃、参加登録された方にご案内のメールを送りました。もし、メールが届いていない方がおりましたら、お手数ですが、下記の担当者(宮内)まで御連絡下さい。

会場

東京大学 小柴ホール(東大本郷キャンパス・理学部1号館内)

本郷三丁目駅(地下鉄丸の内線)徒歩8

本郷三丁目駅(地下鉄大江戸線)徒歩6

湯島駅又は根津駅(地下鉄千代田線)徒歩8

東大前駅(地下鉄南北線)徒歩1

春日駅(地下鉄三田線)徒歩10

地図: http://www.u-tokyo.ac.jp/campusmap/cam01_00_25_j.html

プログラム

13:00 - 13:45

招待講演:伊藤 恵利先生  (東北大学/メニコン みる未来のための共創研究所)

量子ビームマルチプローブを活用した社会課題解決へのアプローチ カラコンを視る

虹彩模様付きレンズ(カラコン)は若年層を中心に使用者が多いが、印刷品質に課題のあるレンズの存在が社会問題とされてひさしい。製造情報が不明な市場流通製品をどのように解明するか?その実態解明のため、電子線・軟X線・硬X線、中性子線を横断的に活用した研究事例、及びマルチプローブにより可視化したカラコン印刷層の検証結果を紹介する。

13:45 - 13:55

(休憩)

13:55 - 14:05

企業ショートプレゼン: ブルカージャパン株式会社 Peak Force Tappingを用いたBruker高性能AFMのご紹介

Bruker2009年にPeakForce Tappingモードを開発し、従来のコンタクトモードとタッピングモードの欠点を回避しながらの測定を可能とした。凹凸と同時に複数の物性を同時取得可能であり、PFM(圧電応答顕微鏡)、TUNA(微小電流測定)等の評価例について紹介する。

14:05 - 14:15

企業ショートプレゼン:株式会社NanoAndMore ジャパン 最適なSPM/AFM カンチレバーの選択」

AFMSPMの重要な構成要素の一つにカンチレバーがある。カンチレバーは通常MEMS技術を用いて製造され、ナノメートルオーダーの先鋭度を持つ探針を備えている。現在、測定に応じて800を超える種類のカンチレバーが製造されている。本発表では、カンチレバーの製造プロセスについて簡単に紹介したうえで、アプリケーションに適したカンチレバーの選択方法を紹介する。

14:15 - 14:25

企業ショートプレゼン:オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

「業界初 ”QPDI”方式によるAFM測定精度の向上と低ノイズ化」

AFM(原子間力顕微鏡)における、従来の業界標準であるカンチレバー変位検出方式 "てこ(OBD)"の課題を挙げ、新しい検出方式である"QPDI"について紹介をする。

14:25 - 14:35

企業ショートプレゼン:株式会社 ユニソク 「低温STMの利用の今と利用拡大のとりくみ」

超高真空・極低温・強磁場走査型トンネル顕微鏡を使用した最近の研究トレンドを紹介するとともに、国内での利用拡大を目指した来社実験サービスのためにユニソク社に常設されたSTM装置について紹介します。

14:35 15:20

ポスターセッション・企業展示

15:20 - 16:05

招待講演:松田 巌先生  (東京大学物性研究所、東北大学国際放射光イノベーション・スマート研究センター)   

微小空間を探る先端X線分光
科学技術を推進する実材料は不均一であり、新物質は微結晶、そして新現象の探索は狭い極限空間で行われている。X線分光は物質や現象を直接評価ができる強力な手法で、最近、日本ではX線集光ミラー技術が急速に発展したことによりこれら微小空間での測定が可能となってきた。我々も微結晶表面の電子状態解析や新たな非線形X線光学現象の発見などを実施し、海外でもSTMと放射光を組み合わせた原子1個分のX線分光測定が報告されている。そこで本講演では微小空間における先端X線分光研究について世界の動向も含めて解説し、新しい放射光施設Nano Terasuなどでの展開についても紹介する。

16:05 - 16:15

(休憩)

16:15 16:25

企業ショートプレゼン: 株式会社 トヤマ 「ナノ領域におけるARPES装置の試み」

微小領域の測定に対応できるARPES(角度分解光電子分光法)が注目されるようになってきています。前半に現状での装置製作における要素技術を、後半でフォーカス社のナノ領域に対応できるモーメンタムアナライザーに関して説明させていただきます。

16:25 16:35

企業ショートプレゼン: 日本電子株式会社 XRF最新技術、ヘリウムフリーで液体中の軽元素測定を可能にする"低真空液体試料カプセル"のご提案」

XRFを用いて液体試料中の軽元素を分析する際、従来は試料室をヘリウムガスに置換して測定する手法が行われていた。今回ヘリウムガスを使用せず、真空雰囲気で液体試料の測定を可能にする低真空液体試料カプセルを開発したので紹介する。

16:35 16:45

企業ショートプレゼン: IONTOFジャパン 株式会社 「TOF-SIMSによる表面近傍の世界:深さ方向分析を含むイメージの分析事例」

TOF-SIMSは、無機材料及び有機材料の表面分析に使用される。スパッターガンを併用することで表面から深さ方向の分布測定も可能である。本セミナーでは弊社製品を通して、TOF-SIMSの原理から表面、及び深さ方向分析の事例を紹介する。

16:45 17:30

ポスターセッション・企業展示

問合せ先

宮内 良広:miyauchi -at- nda.ac.jp
("-at-"
@に修正してください)